Завод по производству азота сверхвысокой чистоты

Установка сверхчистого азота сочетает в себе сжатие воздуха, адсорбционную очистку и криогенную дистилляцию. Примесь O2 в азоте до 1 ppb.

Системы производства азота безопасны, надежны и просты в эксплуатации и обслуживании. Доступны несколько вариантов, в зависимости от потребностей клиента. Они могут, например, включать резервные испарители и хранилища для повышения доступности и надежности или включать совместное производство жидкости для пополнения резервного хранилища жидкости. Точно так же системы производства азота могут оптимизировать как капитальные затраты (CAPEX), так и эксплуатационные расходы (OPEX) в зависимости от требований заказчика. Эти установки полностью упакованы, что позволяет сократить время установки.

Aприкладные поля

Полупроводник

Преимущества

Возможность жидкого совместного производства

Может включать резервные испарители и хранилище

Безопасный, надежный, простой в эксплуатации и обслуживании

Оптимизирует CAPEX или OPEX

Ключевые данные

Производство: чистота O2 до 1 ppb

Производительность: до 70 000 Нм³ / ч

горячая этикетка : Азотная установка сверхвысокой чистоты